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공진 안테나를 사용한 유도 결합 플라즈마에서 고효율 플라 즈마 발생 및 플라즈마 동역학 연구

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유도 결합 플라즈마에서 E ? H 모드 전이 중 안테나 전류 감소와 히스테리시스 발생

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이온 주입 공정용 유도 결합 플라즈마 소스의 밸런스 축전기 유/무에 따른 특성 비교

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2D spatial distribution measurement of floating potential in inductively coupled plasma

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산소 플라즈마에서 전자의 부착 및 탈락이 전자 에너지 분포 함수에 미치는 영향