,

산소 플라즈마에서전자의 부착 및 탈착이전자 에너지 분포 함수에 미치는 영향

,

증착 플라즈마에서 부유 프로브의 과도전압 분석을 통한 전자온도와 이온 밀도 측정 방법

,

이온 주입 공정용 유도 결합 플라즈마에서 이온 밀도 및 플라즈마 발생 효율 측정

,

축전 결합 플라즈마에서 병렬 인덕터를 이용한 플라즈마 발생 효율 향상

,

Capacitive load effect on sideband currents in a floating harmonic method with dual frequency probe bias