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Investigation of the driving frequency dependence in the inductively coupled plasma

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RF 플라즈마에서 왜곡된 랑뮤어 탐침 I-V곡선의 수치적 왜곡 제거 방법 연구

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부유 전위 주변 I-V 곡선의 RF 왜곡에 관한 실험적 검증과 보상 방법

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높은 시간 분해능을 갖는부유 고조화 분석법

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유도 결합 플라즈마(ICP)에서의 구동주파수 의존성 연구