,

The effect of inhomogeneous ohmic heating on the electron energy probability functions in an oxygen capacitively coupled plasma

,

아르곤 유도 결합 플라즈마에서 플라즈마 최적 생성 조건에 대한 연구

,

변형 부유 고조화법을 이용한 플라즈마 진단

,

축전 결합 플라즈마에서 인덕터 종단에 의한 플라즈마 z축 밀도 분포 영향

,

유도 결합 플라즈마에서 안테나의 가상 접지가 전자 밀도 분포에 미치는 영향