발행물
컨퍼런스
한국재료학회 추계 학술발표강연
1999
,
희석된 HF 수용액과 IPA, 계면활성제, 과산화수소를 첨가한 혼합액의 실리콘 산화막 식각속도에 대한연구
Meeting of Electrochemical society
The Reaction of H202 and Ozone in Ammonium Hydroxide (NH4OH) Solutions with Silicon Wafers
한국재료학회 춘계 학술발표
접촉각 측정을 통한 불화유기 박막의 특성평가
한국재료학회 춘계 학술발표강연
실리콘 기판위에 형성된 불화유기박막의 광학적 모델링
한국재료학회 춘계학술발표강연
계면 활성제 첨가한 암모니아 수용액의 온도에 따른 소수성 실리콘 웨이퍼와의 반응성