발행물
컨퍼런스
대한전기학회 MEMS 학술발표회논문집
1997
,
Perfluorinated Organic Films For ThePrevention of Stiction in MEMS
한국 표면공학회지
1996
반도체 습식공정에서 실리콘표면에 접촉성과 건조조건이 WATER MARK생성에 미치는영향
한국재료학회지
초순수수내에서의 오존의 거동 및 세정효과
Proceeding of 3rd workshop onsemiconductor wafer cleaning
The removal of partocle on silicon wafers in IPA solutions
반도체 습식HF최종공정중 실리콘 표면의 소수성이 물방울 결함에 미치는 영향