발행물
컨퍼런스
MRS spring meeting
1998
,
Surface modification with perfluoro-carbon organic thin films for the preventionof stiction in MEMS
대한화학회
Structural characterization of fluorinated thin films on aluminum surface by attenuated total reflectance FT-IR spectro-photometry
Proceedings of the 4th Work-shop on Semiconductor Wafer Cl
The application of ozone in advanced wetcleaning
한국재료학회 추계학술대회
1997
CMP 공정에서 Slurry particle과 Wafer표면간의 상호작용에 대한 연구
반도체 세정액 내에서의 오존의 용해도 및그 기구에 대한 연구