발행물
컨퍼런스
한국 마이크로전자 및 패키징학회
1998
,
불화 유기 박막의 기상증착 및 특성평가
한국정밀공학회 춘계학술대회
CMP후의 오염제어
한국재료학회
반도체 세정액내에서의 과산화수소수 첨가에 의한 실리콘 웨이퍼의 접촉성 변화
산성 세정액내에서 오존의 거동 및 실리콘웨이퍼와의 반응성
98 대한전기학회 MEMS 학술발표회 논문집
Al 표면의 습식/건식 활성화 공정이 In-use stiction방지를 위한 Fluorocarbon 박막증착에 미치는 영향