발행물
컨퍼런스
반도체학술대회
2000
,
Effect of chemicals and slurry particles on chemical mecanical polishing (CMP) of polyimide
Materials Research Society Symposium
1999
Determination of optical properties of fluorocarbon polymer thin films by a variable angle spectroscopic ellipsometry
국제 CMP 심포지움
Electrokinetic analysis of slurry particles and wafer surfaces and their interactions relevant to post cmp cleaning.
한국마이크로전자 및 패키징학회 추계 기술심포지움
TEOS 산화막 위에 기상증착을 통해 성장죈 불화유기박막의 특성평가
한국재료학회 추계 학술발표강연
기상증착과 PECVD를 이용한 불화유기박막의 증착