1999

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암모니아 수용액 내 과산화수소와 오존의 거동

1998

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희석된 불산내의 오존의 거동과 세정효과

1998

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Variable angle spectroscopic ellipsometry를 이용한 aluminum위의 불화 유기박막에대한 두께 및 광학 특성결정

1998

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CMP용 Slurry particle간의 상호 작용에 대한 연구

1998

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층간절연막 적용을 위한 Polyimide의 화학기계적 평탄화 공정