발행물
컨퍼런스
2013 Materials Research Society Fall Meeting
2013
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Dimensionally controlled submicron 3D microstructure fabrication by Dual Diffuser Lithography (DDL)
The 54th Technical Meeting of Korea CMPUGM
Evaluation of Metal-Resin Platen for Sapphire Lapping Application
2013년도 한국재료학회 춘계학술대회 및 제25회 신소재 심포지엄
PE-CVD방법을 이용한 Polycarbonate표면의 Amine 처리 /Amine Modification of Polycarbonate Surface by PE-CVD method
활성화 가스를 이용한 산화막 제거 반응 메커니즘 분석
반도체용 포토마스크 보호를 위한 펠리클 프레임 제조 시 발생되는 오염물 제거를 위한 세정 공정 개발