발행물
컨퍼런스
The Tenth U.S.-Korea Forum on Nanotechnology
2013
,
Wafer level fabrication of nanowell array biochip and its characterization
The 53th Technical Meeting of Korea CMPUGM
On the mechanism of material removal by fixed abrasive lapping of various glass substrates
2013년도 한국재료학회 춘계학술대회 및 제24회 신소재 심포지엄
IPA를 첨가한 세정액 내에서의 acoustic cavitation 거동 연구/ Acousitc cavitation behavior in Isopropyl alcohol added cleaning solution
GaN 기판상의 오염물 제거를 위한 세정공정에 대한 연구 / Characterization of N-polar GaN surface of interest to surface cleaning
Sapphire 기판의 친환경 Lapping 공정을 위한 고정연마입자패드 평가 / Evaluation of Fixed Abrasive Pad for Eco-friendly Lapping Process of Sapphire Substrate