발행물
컨퍼런스
2015년도 한국재료학회 춘계학술대회 및 제 28회 신소재 심포지엄
2015
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기능수 세정액을 이용한 메가소닉의 주파수 변화에 따른 미세오염입자 제거에 대한 연구
SEMATECH Surface Preparation and Cleaning Conference
Effect of surface pre-treatment process on removal of contaminated particles from Si3N4 surface
20th International Conference on WEAR OF MATERIALS
Comparison between Sapphire Lapping Processes using 2-Body and 3-Body Modes as Function of Diamond Abrasive Size
2014년도 한국재료학회 추계학술대회 및 제27회 신소재 심포지엄
2014
Cu CMP 와 Post Cu cleaning 공정 중 Cu 표면 위의 BTA organic complexes에 관한 특성
Electrochemical etching을 이용한 bumping mask 제작