발행물
컨퍼런스
Surface Preparation and Cleaning Conference 2017
2017
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Effect of Additives in Diluted HF Solutions on Removal of Metal Contaminants and Particles on Silicon Wafer
2016년도 한국재료학회 추계학술대회
2016
실리콘 웨이퍼 위 금속 오염물 제거를 위한 세정 용액 개발
Insulation Shield를 이용한 TMEMM(Through-Mask Electrochemical Micromachining) 공정의 균일도 개선
NF3/H2O 혼합 가스 플라즈마를 이용한 실리콘 산화막 건식 식각 공정 최적화 및 오염물 최소화에 대한 연구
EUV 마스크 표면 재료 및 carbon 오염물 간의 상호작용 및 carbon 오염물 제거를 위한 세정액 연구