발행물

논문
특허
저서
컨퍼런스

전체 논문

323

271

Physical and Chemical Characterization of Reused Oxide Chemical Mechanical Planarization Slurry
Kim, HJ, Eom, DH, Park, JG
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS SHORT NOTES &, 2001

272

Polishing Behavior of Cu in Organic Acids Based Slurries
박진구, 0, 0
국내Proceeding, 2001

273

Improvement of Post CMP Cleaning Efficiency Using Organic Acids in Cu Slurry
박진구, 0
국내Proceeding, 2001

274

Chemical, optical and mechanical characterization of perfluoropolymer films as an antistiction layer in micromirror arrays
박진구, 0, 0, 0, 0
Thin Solid Films, 2000

275

Stamped Leadframe의 표면 품질에 미치는 전해연마의 효과
박진구
한국 마이크로전자 및 패키징학회 2000년 추계 기술심포지움 논문집, 2000

276

Hydrophobic Surfaces Patterned by Lift-off Process Using Fluorocarbon Thin Films for Micro Fluidic Handling System
박진구, 0, 0, 0, 0, 0
ICEE2K Proceedings, 2000

277

MEMS에서 이용되는 점착방지막의 접촉각 및 AFM/LFM을 이용한 특성 평가
박진구, 0, 0, 0, 0
제2회 MEMS 학술대회 논문집2000, 2000

278

소수성의 불화유기박막을 이용하여 선택적으로 패턴된 단백질 칩 제작
박진구, 0, 0, 0, 0
제2회 MEMS 학술대회 논문집2000, 2000

279

접촉각 측정과 AFM/LFM을 이용한 불화 유기박막의 특성 평가
박진구, 0, 0, 0, 0
한국마이크로전자 및 패키징학회지, 2000

280

The reactionof Ozone and H2O2 in NH4OH solutions and Their reaction with Silicon Wafers
박진구, 0, 0, 0, 0, 0
Proceedings of the 6th International Symposium on Cleaning Ttechnology in Semiconductor Device Manuf, 2000